超声波镜面加工系统产生每秒三万次的冲击频率，使滚珠对零件表面进行冲击滚压，致使零件表面产生高应变塑性变形，超声波精整加工处理后，零件表面可以形成高值压缩残余应力和高显微硬度的晶粒细化层或梯度纳米结构层，表面粗糙度显著降低。